拋光液的酸堿度就是拋光液的PH值，當拋光液的PH值為9.6時，拋光液的機械作用遠大于化學作用，去除速率比較大，導致拋光后拋光片表面產生高損傷層，粗糙度比較大；當拋光液的pH值增大為10.84～11.34時，機械作用和化學作用達到一種對等狀態時，此時化學作用的均勻性好，使得表面張力小，質量處理的一致性好，可以得到良好的表面拋光效果；當pH值大于11.67時，
SiO2水溶膠在強堿的作用下，生成易溶于水的硅酸氨，使得硅溶膠中的SiO2顆粒不能起到磨削作用，變成透明的液體，此時機械作用基本失效，拋光以化學作用為主，表面蝕坑增多，使得表面粗糙度重新增加。