拋光墊又稱拋光皮，拋光布，拋光片，化學機械拋光中決定表面質量的重要輔料。

作用：

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域；

②將拋光后便化學反應充分進行的反應物、碎屑等順利排出，達到去除效果；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行；

④保持拋光過程的平穩、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌。